[摘 要]本文主要对接触式干涉仪示值误差测量不确定度进行分析。

[关键词]接触式干涉仪；配对法；示值误差；不确定度

中图分类号：TH711.2 文献标识码：A 文章编号：1673-9795（2014）1（b）-0000-00

1. 概述

1.1 测量（试读）...