摘 要：集成电路工艺技术是现代电子与信息产业的核心基础，因此“集成电路工艺”成为集成电路专业的核心课程之一，也是学生必修的基础课程。随着集成电路产业的快速发展，工艺的复杂性日益增加，传统以理论为主的教学（试读）...
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