【关键词】POWER MOS功率器件；失效分析；EFA电性缺陷点定位；PFA物性验证；EMMI/OBRICH；化学剥层技术
随着集成电路产业的不断发展，针对器件异常的失效分析技术显得越来越重要，在常规的集成电路失效分析中，（试读）...
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