【摘要】本文对新型基于水银为介质的微流体加速度开关进行了介绍。说明了水银加速度开关的原理,对开关的工艺作了探讨。
【关键词】微流体;水银开关;制作工艺
1.微开关的发展
自Frobenius在1973[1]年首先制作出一种金(试读)...