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一种新型的微加速度开关制作工艺-电子世界2014年03期

一种新型的微加速度开关制作工艺

作者:孙宪南 字体:      

【摘要】本文对新型基于水银为介质的微流体加速度开关进行了介绍。说明了水银加速度开关的原理,对开关的工艺作了探讨。

【关键词】微流体;水银开关;制作工艺

1.微开关的发展

自Frobenius在1973[1]年首先制作出一种金(试读)...

电子世界

2014年第03期